【四大產品系列 · 精準契合產業鏈需求】
 

【01】ZT系列：ZT雙軸精密轉臺【新品隆重亮相】

國奧科技ZT雙軸精密轉臺“GAS-ZT-10-120”作為新產品，于SEMI-e2025首次亮相，其采用全氣浮設計，具備納米級精度，集成旋轉+升降雙軸運動。憑借高精度定位、高負載能力與低型面緊湊設計等技術優勢，該產品可廣泛應用于光學耦合、晶圓缺陷檢測、晶圓膜厚測量等高端工藝環節，為IC制造和光電子領域的協同檢測提供堅實支撐。

【02】LAA系列：直線電機

?具備800–1000mm/s 的高速度、±0.01N 力控精度等技術保障，適用于半導體高速分選、屏幕/按鍵壽命測試等場景，助力“IC制造與應用”實現效率與精度提升。

【03】LRS系列：直線旋轉電機

ZR雙軸集成設計，突破傳統“伺服+絲桿”模式。最薄僅10mm，重量420g，可多電機并排組合，大幅提升芯片貼裝效率與良率，契合先進封裝與供應鏈優化需求。

【04】LRS系列：直線旋轉電機

專為TCB熱壓鍵合、SiC預燒結工藝設計，集成直線+旋轉運動、加熱功能于一體，可實現均勻壓力與精準溫控，顯著降低缺陷率，為化合物半導體制造提供可靠方案，加速第三代半導體在功率器件領域的產業化。

【技術亮點 · 與展會焦點同頻共振】

?±0.01N力控精度，以及軟著陸功能，保障敏感元器件安全；±0.01°旋轉定位精度，±2μm直線定位精度，±1μm徑向偏擺，確保精準貼裝；10mm超薄機身，突破緊湊設備空間多電機組合局限；速度、加速度、力度可編程控制，滿足多種復雜工藝需求；為SiC預燒結工藝、熱壓鍵合TCB工藝提供多種創新方案；自主研發比肩國際Top標準、大推力、高精度定位、高負載ZT雙軸精密轉臺。

國奧科技系列產品技術特點，與展會關于先進封裝、國產替代、化合物半導體工藝的技術焦點高度呼應，國奧科技將進一步加深技術研發，力爭在產業協同與國產替代進程中展現更大價值。