同軸雙自由度集成、納米級精度、全氣浮無摩擦 —— 國奧科技自主研發(fā)的ZT雙軸精密轉(zhuǎn)臺（GAS-ZT-10-120）正式發(fā)布，打破國際巨頭對高端精密運(yùn)動部件的壟斷，為半導(dǎo)體及高精密制造領(lǐng)域提供 “自主可控” 的高端國產(chǎn)化解決方案。

01

核心技術(shù)架構(gòu)：單動子雙自由度+全氣浮，根除精度損耗

GAS-ZT-10-120 搭載國奧科技自研的單動子雙自由度電機(jī)解耦技術(shù)，實(shí)現(xiàn)單個(gè)動子同步輸出直線（Z軸）與旋轉(zhuǎn)（T軸）運(yùn)動，雙磁場無耦合干擾；配合全氣浮軸承設(shè)計(jì)，替代傳統(tǒng)機(jī)械接觸，徹底消除多軸同步控制帶來的精度丟失和累積誤差，達(dá)成Z軸升降與T軸旋轉(zhuǎn)的納米級聯(lián)動控制。

﹥核心技術(shù)特性

? 單動子直線+旋轉(zhuǎn)雙軸復(fù)合運(yùn)動；

? 雙軸納米級精度；

? 全氣浮設(shè)計(jì)，全域無摩擦、零磨損；

? 高剛性結(jié)構(gòu)，抗傾覆能力強(qiáng)；

? 模塊化擴(kuò)展，支持XYZT多軸聯(lián)動；
? 緊湊設(shè)計(jì)集成大推力、大轉(zhuǎn)距、高負(fù)載；

? 符合ISO 14644-1 Class 5以上半導(dǎo)體潔凈室標(biāo)準(zhǔn)；

02

雙軸性能：納米級精度+高動態(tài)響應(yīng)

﹥Z軸（直線定位）

? 全氣浮：無齒槽干擾，運(yùn)行平滑；
? 氣動平衡系統(tǒng)：有效防止電機(jī)過熱并有效避免沖擊；

? 高分辨率光柵編碼器：確保納米級定位與重復(fù)位置精度；

﹥T軸（旋轉(zhuǎn)分度）

? 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)：全氣浮無間隙、零空回；

? 直驅(qū)力矩電機(jī)：最大加速度達(dá)100rad/s2，毫秒級快速響應(yīng)；

? 低擾動設(shè)計(jì)：保障精度穩(wěn)定性、提升工藝良率；

?

T軸重復(fù)定位精度：±2.65 arcsec ≈ ±0.00074°

T軸重復(fù)定位精度數(shù)據(jù)監(jiān)測

???溫馨提示

arcsec = arc second = 角秒，是一種角度單位。

1 度 (°) = 60 分 (arcmin)

1 分 (arcmin) = 60 秒 (arcsec)

所以 1 arcsec = 1/3600 度 = 0.0002777… 度

SO...

±2.65 arcsec ≈ ±0.00074°（不到一千分之一度）

03

關(guān)鍵性能指標(biāo)：比肩全球頂尖標(biāo)準(zhǔn)
 

04

核心應(yīng)用場景：覆蓋高精密制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)

05

客戶技術(shù)支撐：全鏈路保障高精密應(yīng)用

﹥定制化運(yùn)動解決方案

基于客戶工藝拆解運(yùn)動參數(shù)（如精度、加速度、負(fù)載等），輸出從控制算法到硬件集成的專業(yè)定制方案。

﹥全生命周期技術(shù)保障

覆蓋安裝調(diào)試 - 運(yùn)維 - 升級迭代，專屬技術(shù)團(tuán)隊(duì)響應(yīng)時(shí)效＜6小時(shí)，確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。

﹥半導(dǎo)體級潔凈適配

從材質(zhì)選型到結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保設(shè)備在嚴(yán)苛潔凈場景下合規(guī)運(yùn)行、無二次污染。

END

國奧科技電機(jī)技術(shù)優(yōu)勢：

可編程高精力控，降低損耗

國奧直線旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶有“軟著陸”功能，可實(shí)現(xiàn)±1g以內(nèi)的穩(wěn)定力度控制，支持速度、加速度及力度控制的程序化設(shè)定，使貼裝頭能夠以非常精準(zhǔn)的壓力觸碰芯片表面，降低損耗；

采用中空Z軸設(shè)計(jì)，預(yù)留氣管接口，真空吸取、即插即用，并可根據(jù)元件結(jié)構(gòu)及特性提供定制化服務(wù)。

高精度對位、貼片，保證良率

微米級位置反饋，獲取精準(zhǔn)數(shù)據(jù)，±0.01N力控精度，±2μm直線重復(fù)定位精度，±0.01°旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度，徑向偏擺±1μm，編碼器分辨率標(biāo)準(zhǔn)1μm，可在高速運(yùn)行狀態(tài)下仍穩(wěn)定輸出，提升良率及可靠性。

“Z+R”軸集成設(shè)計(jì)，提升速度

創(chuàng)新性的雙軸集成化解決方案，將傳統(tǒng)“伺服馬達(dá)+滾珠絲桿”合二為一，解決了Z軸自重負(fù)載問題，高速、精準(zhǔn)完成元件Pick & Place，貼裝等動作，推力曲線平滑，峰值推力8-500N，有效行程10-55mm ，超高循環(huán)壽命，實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)。

體積小，重量輕，可電機(jī)組合排列

直線旋轉(zhuǎn)電機(jī)LRS1025重量僅420g，輕巧的機(jī)身重量大大減輕了設(shè)備高速運(yùn)動中負(fù)載帶來的影響。電機(jī)最小厚度僅為10mm，在設(shè)備有限的內(nèi)部空間中可以并排安裝多組電機(jī)，減少芯片貼裝往復(fù)運(yùn)動過程，提升設(shè)備貼裝效率。

提供“電機(jī)+驅(qū)動一體化”設(shè)計(jì)方案

直線電機(jī)LAA4510采用“電機(jī)+驅(qū)動一體化”設(shè)計(jì)，其系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，電機(jī)傳動效率更高，可滿足先進(jìn)封裝技術(shù)對半導(dǎo)體測試分選設(shè)備的高速度、高精度、高效率的應(yīng)用需求。

SiC銀燒結(jié)、熱壓鍵合多種加熱方案

國奧科技針對SiC銀燒結(jié)工藝、熱壓鍵合TCB工藝研發(fā)了LRHS9440一體式ZR加熱方案，以及全新雙段式Z軸設(shè)計(jì)、小體積大推力ZR電機(jī)LRHS5040加熱方案；具有精準(zhǔn)溫控、靈活均勻壓力，以及卓越的Z+R運(yùn)動控制精度等優(yōu)勢，能滿足不同芯片元件需求，消除工藝過程中出現(xiàn)曲翹、傾斜、開裂等問題的風(fēng)險(xiǎn)。

提供“ZT雙軸精密轉(zhuǎn)臺”等創(chuàng)新方案

采用自主研發(fā)的單動子雙自由度電機(jī)解耦技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)單個(gè)動子同步輸出直線（Z軸）與旋轉(zhuǎn)（T軸）運(yùn)動，雙磁場無耦合干擾；全氣浮，納米級精度，比肩全球Top標(biāo)準(zhǔn)；單動子直線+旋轉(zhuǎn)雙軸復(fù)合運(yùn)動；可應(yīng)用在光學(xué)耦合、晶圓缺陷檢測、晶圓膜厚檢測等場景。